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【2h】

Formation of aminosilanes in the hot-wire chemical vapor deposition process using SiH4-NH3 gas mixtures

机译：使用siH4-NH3气体混合物在热线化学气相沉积工艺中形成氨基硅烷

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Brett D. Eustergerling; Yujun Shi;
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年度 2008
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